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启迪新材料（芜湖）有限公司设备翻新项目招标预告

启迪新材料（芜湖）有限公司设备翻新项目

招标预告

各潜在投标人：

安徽安天利信工程管理股份有限公司受启迪新材料（芜湖）有限公司委托，拟对“启迪新材料（芜湖）有限公司设备翻新项目”进行公开招标，现发布招标预告，对步进式曝光机等一批设备进行市场调研，特邀请有兴趣的潜在投标人报名并提交有关企业资料，并欢迎实地洽谈，对该项目建设提出合理的意见和宝贵的建议。

一、项目概况

1.1项目名称：启迪新材料（芜湖）有限公司设备翻新项目；

1.2项目编号：19AT1029200165

1.3项目地点：安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包产业园

1.4项目概况：详见附件设备清单及要求

二、拟采用的投标人资格要求

2.1投标人须具有在半导体企业中同类项目类似的业绩；

2.2具有良好的企业信誉；

2.3不接受联合体投标。

三、报名要求

3.1报名时间：2019年01月21日至2019年02月02日每天9:00-11:30，14:00-17:00(北京时间,节假日除外)；

3.2报名地点：安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包产业园3号楼18层；

3.3报名提交资料要求：提供企业营业执照、相关业绩等投标人认为可提供的其他材料。以上加盖公章的企业资料复印件一份在上述时间地点报名。

3.4本项目潜在投标人必须于2019年02月02日前至启迪新材料（芜湖）有限公司与招标人联系并现场踏勘，了解招标人实际情况。

四、发布招标预告的媒介

本次招标预告同时在《安徽省招标投标信息网》和《安徽国际招标网》上公开发布。

五、联系方式

单位名称：启迪新材料（芜湖）有限公司

联系人：张工

联系电话:18555355510

代理机构：安徽安天利信工程管理股份有限公司

联系人：张工

联系电话：0551-63735921

附：主要设备清单

序号	设备名称	厂家	型号	台数	备注
1	步进式曝光机 NIKON STEPPER	NIKON	NSR-2005I9C	1
2	自动曝光机 Auto Mask Aligner KP-4100	DNK	MA-4200	1
3	自动上光阻机 Auto coater （8600 Series system with 6*SVG Pump)	C&D	SVG 8600	1
4	半自动显影Bench（半自动客制化）	禾邑	HIMJ-9135	1
5	自动去光阻机及自动供酸	禾邑	HIMJ-0048	1
6	ICP感应耦合电浆刻蚀机 RIE-212ipcs	SAMCO	RIE-212IPC	2
7	PECVD（800 Plus)	OXFORD	Plasmalab 800+PECVD	2
8	电子枪蒸镀机 Metal E-beam Evaporator System	富临	FU-12PEB-ITO	1
9	电子枪蒸镀机 Metal E-beam Evaporator System	富临	FU-20PEB-ITO	1
10	O2 Plasma 电浆清洗机 PRS	志圣	PRS	1
11	SPIIN RINSE DRY 旋干机 CT-605D	瑞耘	CT-605D	2
12	烤箱 OVEN	华扬	FO-270	1
12	可见光谱仪	统新	S201	1
13	光激光量测仪（VERTEX M1-WF-029 PL	VERTEX	M1-WF-029 PL	1
14	电阻测量机Resistivity Measurement Machine （RT-70）	德技	RG-7B	1
15	手动焊线机	K&S	4522	1
16	蓝光回火炉（高温磊晶炉） 4″晶圆用	陵胜	KE-A800-MS	1
17	Scrubber洗涤器（for ICP机台）	九威	SBSU03	1
18	Scrubber洗涤器（for ICP机台）	九威	SBSU01	1
19	蓝光Scrubber	九威	A100	3
20	Burn BOX 燃烧箱+集尘桶	真晟	JC-7801-01	2
共计：				27

设备翻新要求：

1、每台设备均需提供设备翻新后技术指标及安装基础图，满足2/4寸晶圆生产线生产，负责翻新及安装调试。

2、每台翻新设备投产后，将保持较长时间的运行工况，因此，要求翻新厂家提供的设备备件质量稳定、可靠，使用寿命符合技术要求。

3、设备翻新地点为芜湖厂家指定地点，业主提供自来水和去离子水，工业用电，翻新厂家提供CDA等机台简单工艺调试气体。

4、控制操作系统：根据设备实际系统，恢复原有设备系统；

5、传送系统：传送腔体检漏、机械手校准、晶圆定位及寻边装置确认恢复；

6、使用药液设备翻新需管路清洗或更换，必须保证设备能正常生产，避免老化漏液；

7、特气设备管道捡漏老化更换，MFC流量计必须依据实际情况确认是否翻新校准；

8、所有设备泵依据实际情况翻新，并保证设备调试后正常运转指标达标；

9、刻蚀成膜系统，反应腔体及组件、ICP源RF模块、偏置RF模块、下电极、工艺气路模块、分子泵、ESC模块、温控模块、是否可用，如缺损，必须更换能使用的备件，并质保1年时间；

10、在签订合同前，招标方保留对本技术规格及要求提出补充要求和修改的权力，投标方应承诺予以配合。

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